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一种流量控制装置，具有：基体，在其内部设有气体流路；流量传感器，其测量流向流路的气体的流量；及至少两个流量控制阀，它们控制流向流路的气体的流量，以检测流向流路的气体的总流量的方式构成流量传感器，使流路的中途部分分支成至少两条支流路，分别在这...
该专利属于日立金属株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日立金属株式会社授权不得商用。

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