流量控制装置制造方法及图纸

一种流量控制装置，具有：基体，在其内部设有气体流路；流量传感器，其测量流向流路的气体的流量；及至少两个流量控制阀，它们控制流向流路的气体的流量，以检测流向流路的气体的总流量的方式构成流量传感器，使流路的中途部分分支成至少两条支流路，分别在这些支流路安装至少一个所述流量控制阀。由此，即使在无法增大初级侧压力P

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流量控制装置
本专利技术涉及一种流量控制装置。
技术介绍
流量控制装置是一种这样的装置：具有流量传感器和流量控制阀，该装置调节流量控制阀的开度，以使由流量传感器测得的气体流量与目标值一致。流量控制装置一直以将作为成膜材料的气体定量地向半导体制造装置供给为目的被广泛使用。有时，半导体的制造所使用的气体中存在具有腐蚀性的物质。因此，在流量控制装置中，通常将隔膜阀用作流量控制阀，该隔膜阀利用金属制的隔膜(即膜片)将气体流路和阀的驱动机构之间气密地隔离开。流量控制装置中使用的隔膜阀的膜片通常是由不锈钢等耐腐蚀性金属构成的呈圆形的薄板。隔膜阀的开闭动作通过使膜片的表面接触或离开分隔出阀的初级侧流路和次级侧流路的阀座的座面来进行。膜片的位移由按压构件来进行，该按压构件设于隔着膜片与气体流路所在侧相反的那侧。隔膜阀的最大流量取决于阀的初级侧压力P1与次级侧压力P2之间的压力差ΔP1以及在阀座的座面与膜片的表面之间形成的间隙的截面面积S。通常，阀座具有圆筒状形状，其靠膜片侧的环状端面为座面。因而，在压力差ΔP1为一定的情况下，为了增加最大流量，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流量控制装置，具有：/n基体，在该基体的表面设有气体的流入口和流出口，且在该基体的内部设有将所述流入口和所述流出口之间连通的流路；/n流量传感器，其测量流向所述流路的所述气体的流量；及/n至少两个流量控制阀，它们控制流向所述流路的所述气体的流量，其中，/n所述流路具有：/n流入路，其是与所述流入口相连通的空间；/n分支部，其是与所述流入路相连通且是使所述气体的流动分支的空间；/n支流路，其是并联地与所述分支部相连通的至少两个空间；/n汇合部，其是与所述支流路相连通且是使所述气体的流动汇合的空间；及/n流出路，其是将所述汇合部和所述流出口之间连通的空间，/n所述流量传感器构成为检测流向所...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180326 JP 2018-0578471.一种流量控制装置，具有：
基体，在该基体的表面设有气体的流入口和流出口，且在该基体的内部设有将所述流入口和所述流出口之间连通的流路；
流量传感器，其测量流向所述流路的所述气体的流量；及
至少两个流量控制阀，它们控制流向所述流路的所述气体的流量，其中，
所述流路具有：
流入路，其是与所述流入口相连通的空间；
分支部，其是与所述流入路相连通且是使所述气体的流动分支的空间；
支流路，其是并联地与所述分支部相连通的至少两个空间；
汇合部，其是与所述支流路相连通且是使所述气体的流动汇合的空间；及
流出路，其是将所述汇合部和所述流出口之间连通的空间，
所述流量传感器构成为检测流向所述流路的所述气体的总流量，
分别在各所述支流路安装有至少一个所述流量控制阀。


2.根据权利要求1所述的流量控制装置，其中，
所述流量控制阀具有：
阀体；
阀座，其由筒状构件构成，且其座面形成在所述筒状构件的靠所述阀体侧的端面，该座面是供所述阀体落座的具有环状形状的平面；
初级侧流路，其是位于所述筒状构件的外侧的空间；及
次级侧流路，其是位于所述筒状构件的内侧的空间。


3.根据权利要求1所述的流量控制装置，其中，
所述流量控制阀具...

【专利技术属性】
技术研发人员：石井守，
申请(专利权)人：日立金属株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP