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本发明提供一种感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件，其中，所述感光性树脂组合物含有含杂环聚合物的前体、热碱产生剂及自由基聚合性化合物，上述含杂环聚合物的前体具有自由基聚合性基团，上述自由基聚合性化合物包括选自如下组...
该专利属于富士胶片株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士胶片株式会社授权不得商用。

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