温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种用于在半导体工艺中验证RF发生器的操作及产生的脉冲波形的系统包括工艺腔室、轮廓传感器、光学传感器和控制器。由系统的控制器所实施的用于验证半导体工艺中的RF发生器的操作和产生的脉冲波形的工艺包括：产生被测试的RF发生器的脉冲形状的脉冲轮廓...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。