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在一示例中，电镀系统包括浴槽、保持设备、阳极、直流电源和控制器。浴槽包含电解质溶液。保持设备保持浸没在电解质溶液中的晶片。晶片包括被钴层覆盖的特征。阳极与晶片相对，并浸没在电解质溶液中。直流电源在保持设备和阳极之间产生直流电流。在保持设备和...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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