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碱溶性树脂、感光性树脂组合物、感光性片材、固化膜、层间绝缘膜或半导体保护膜、固化膜的浮凸图案的制造方法、电子部件或半导体器件技术
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文档序号:26348227
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本发明提供能够得到高伸长率、低应力、高金属密合、高耐热性的固化膜的碱溶性树脂及含有其的感光性树脂组合物。本发明为(A)碱溶性树脂,其特征在于,具有通式(1)表示的结构,且满足以下的(I)和(II)。(I)作为通式(1)的X...
该专利属于东丽株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东丽株式会社授权不得商用。
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