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开发一种如下的方法：在通过西门子法进行的多晶硅棒的制造中，更大幅地改善来自气体供给喷嘴的硅沉积用原料气体的喷出量，由此使气流的流势增强，以在钟罩内的上部与下部的原料气体的循环性优异的状态实施所述制造。作为多晶硅棒制造用反应炉，作为气体供给喷...
该专利属于株式会社德山所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社德山授权不得商用。

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