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研磨设备包括：用于保持研磨垫的研磨站；用于在研磨站处保持基板与研磨垫接触的载体头；定位成当耗材部件移动远离研磨垫时拍摄耗材部件的下表面的影像的相机；以及经构造以对影像执行影像处理算法以确定耗材部件是否损坏的控制器。耗材部件可为承载头上的保持...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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