下载带有基板异常检测电路的装置的技术资料

文档序号:2634724

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可以准确地发现、防止半导体试验装置中的DSA误安装或连接器的连接不良。本发明的半导体试验装置,具有搭载在插座板(11)上的一组DSA(10a、10b)、和包括与该一组DSA(10a、10b)的各插座板(11)的连接器(14)连接的连接器的母...
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