下载具有易于更换的接口单元的半导体测试系统的技术资料

文档序号:2634663

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一种用于帮助自动测试系统更换接口单元的分组件。所公开的实施例示出了带有运料器和测试仪的自动测试系统。接口单元是设备接口板(DIB)。这个分组件可以使得DIB易于接近,而且能与测试系统正确地对准。无需专门的工具就能更换DIB。...
该专利属于泰拉丁公司所有,仅供学习研究参考,未经过泰拉丁公司授权不得商用。

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