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一种铝铜合金膜层的制备方法、声表面波滤波器以及双工器,涉及合金膜层制备技术领域。该铝铜合金膜层的制备方法包括:获取制备铝铜合金膜层所需的反应基材的消耗量,其中,铝铜合金膜层具有目标膜层厚度和目标膜层面积,且铝铜合金膜层的铝元素和铜元素具有预...该专利属于厦门市三安集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门市三安集成电路有限公司授权不得商用。
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一种铝铜合金膜层的制备方法、声表面波滤波器以及双工器,涉及合金膜层制备技术领域。该铝铜合金膜层的制备方法包括:获取制备铝铜合金膜层所需的反应基材的消耗量,其中,铝铜合金膜层具有目标膜层厚度和目标膜层面积,且铝铜合金膜层的铝元素和铜元素具有预...