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本发明涉及一种体声波谐振器，包括基底；声学镜；底电极；顶电极；和压电层，其中：所述谐振器在顶电极的连接边还包括第一插入层，第一插入层在谐振器的厚度方向上设置在顶电极与基底之间，且所述声学镜的边缘在谐振器的横向方向上处于第一插入层的内端与外端...
该专利属于诺思(天津)微系统有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺思(天津)微系统有限责任公司授权不得商用。

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