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本发明提供了一种面阵列背入射式日盲紫外探测器及其制备方法,所述面阵列背入射式日盲紫外探测器制备方法包括:在蓝宝石衬底上制备日盲紫外探测器的器件层,得到APD阵列晶片;将所述APD阵列晶片倒扣封装在电路基板上,采用激光剥离技术将APD阵列晶片...该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。
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本发明提供了一种面阵列背入射式日盲紫外探测器及其制备方法,所述面阵列背入射式日盲紫外探测器制备方法包括:在蓝宝石衬底上制备日盲紫外探测器的器件层,得到APD阵列晶片;将所述APD阵列晶片倒扣封装在电路基板上,采用激光剥离技术将APD阵列晶片...