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本发明公开一种可控硅隔离墙和短基区同步扩散结构及方法,属于半导体器件技术领域,包括短基区、高阻区、阴极区和台面槽,台面槽的上方设有玻璃钝化层,短基区的外侧设有背面开槽区,背面开槽区内设有镓层,通过背面开槽以及槽内扩镓形成隔离墙,隔离墙和短基...该专利属于济宁东方芯电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过济宁东方芯电子科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开一种可控硅隔离墙和短基区同步扩散结构及方法,属于半导体器件技术领域,包括短基区、高阻区、阴极区和台面槽,台面槽的上方设有玻璃钝化层,短基区的外侧设有背面开槽区,背面开槽区内设有镓层,通过背面开槽以及槽内扩镓形成隔离墙,隔离墙和短基...