下载微型抗辐射电场传感器的技术资料

文档序号:2634312

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本发明公开了一种用于采集电场信号的微型抗辐射电场传感器,包括硅衬底,在硅衬底上设有绝缘层,在绝缘层表面设有n型硅,在n型硅上注有两个重掺杂的n型接触区,在两个n型接触区之间设有n型沟道且两个n型接触区通过n型沟道相连,在n型接触区和n型沟道...
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