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抗辐射电场微传感器制造技术
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文档序号:2634311
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本发明公开了一种用于采集电场信号的抗辐射电场微传感器,包括p型衬底,在p型衬底的底部设有孔,在p型衬底的上表面设有n型硅,在n型硅上注有两个重掺杂的n型接触区,在两个n型接触区之间设有n型沟道且两个n型接触区通过n型沟道相连,在n型接触区和...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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