温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种电容差检测电路和微机电系统传感器。振荡器分别具有电容器，电容器的电容随外力而变化，并且振荡器根据电容生成第一振荡信号。例如，每个电容器位于衬底和质量体之间，其中质量体面对衬底可移动地放置，并且在垂直于衬底的方向上振动。检测单...
该专利属于富士通株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士通株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。