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一种多波长真空紫外及深紫外相干光源的产生装置与方法。其主要元件包括：近红外飞秒激光器、分束片、延时线、缩束系统、倍频晶体、二分之一波片、四分之一波片、聚焦透镜、气腔、滤波片等。在该装置中，近红外飞秒激光经过一块分束片分成两束光，一束作为近红...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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