【技术实现步骤摘要】
多波长真空紫外及深紫外相干光源的产生装置与方法
本专利技术涉及短波长相干光源，特别是一种多波长真空紫外及深紫外相干光源的产生装置与方法，对于纳米光刻、表面分析、精密测量具有重要意义。
技术介绍
真空紫外(VacuumUltraviolet,VUV,100-200nm)和深紫外(DeepUltraviolet,DUV,200-300nm)相干光源是高分辨光谱学、表面科学、光化学等研究的重要工具。目前自由电子激光器，由于其超高的亮度，好的相干性已经在短波长光源产生方面获得了巨大成功。但是，这类大科学装置体积庞大，造价较高，限制了其广泛应用(可参阅C.Pellegrini,etal.,Rev.Mod.Phys.88,015006(2016))。因此，研究台式化DUV/VUV光源以及相应的光场调控技术是非常必要的。近年来，基于KBe2BO3F2的非线性光学晶体迅速发展，为实现高能量DUV/VUV光源提供了简单有效的解决方案，但是其最短波长受限于非线性晶体的吸收边。对于这类非线性光学晶体而言，波长调谐可通过调节相位匹配角实现，但是相位...
【技术保护点】
1.一种多波长真空紫外及深紫外相干光源的产生装置，其特征在于，该装置包括近红外飞秒激光器(1)、分束片(2)、第一高反镜(3)、第二高反镜(4)、第三高反镜(5)、第四高反镜(6)、第五高反镜(7)、第六高反镜(8)、延时线(9)、第七高反镜(10)、第八高反镜(11)、第九高反镜(12)、缩束系统(13)、凸透镜(14)、凹透镜(15)、倍频晶体(16)、双色镜(17)、第一滤波片(18)、偏振器(19)、二分之一波片(20)、四分之一波片(21)、合束镜(22)、聚焦透镜(23)、气腔(24)、准直透镜(25)、第二滤波片(26)；/n所述的近红外飞秒激光器(1)输出近...
【技术特征摘要】
1.一种多波长真空紫外及深紫外相干光源的产生装置，其特征在于，该装置包括近红外飞秒激光器(1)、分束片(2)、第一高反镜(3)、第二高反镜(4)、第三高反镜(5)、第四高反镜(6)、第五高反镜(7)、第六高反镜(8)、延时线(9)、第七高反镜(10)、第八高反镜(11)、第九高反镜(12)、缩束系统(13)、凸透镜(14)、凹透镜(15)、倍频晶体(16)、双色镜(17)、第一滤波片(18)、偏振器(19)、二分之一波片(20)、四分之一波片(21)、合束镜(22)、聚焦透镜(23)、气腔(24)、准直透镜(25)、第二滤波片(26)；
所述的近红外飞秒激光器(1)输出近红外泵浦激光经所述的分束片(2)分为反射光束和透射光束，所述的反射光束依次经第一高反镜(3)、第二高反镜(4)、第三高反镜(5)、第四高反镜(6)、第五高反镜(7)，作为近红外泵浦光入射到合束镜(22)；所述的透射光束依次经过第六高反镜(8)、延时线(9)、第九高反镜(12)和缩束系统(13)，再进入倍频晶体(16)，该倍频晶体(16)的相位匹配角符合共振四波混频所需的紫外泵浦光的要求，经该倍频晶体(16)输出的紫外泵浦光依次经过双色镜(17)、第一滤波片(18)、偏振器(19)、二分之一波片(20)和四分之一波片(21)，然后入射到所述的合束镜(22)；
所述的紫外泵浦光和近红外泵浦光经过合束镜(22)合束，且确保所述近红外泵浦光和紫外泵浦光的时间和空间重合，经聚焦透镜(23)入射到所述气腔(24)中，将紫外泵浦光的延时滞后于近红外泵浦光，即可产生窄带DUV/VUV相干辐射，该窄带DUV/VUV相干辐射与剩余泵浦光依次经准直透镜(25)和第二滤波片(26)后输出窄带DUV/VUV相干辐射。
2.根据权利要求1所述的多波长真空紫外及深紫外相干光源的产生装置，其特征在于，所述二分之一波片(20)和四分之一波片(21)用于调节紫外泵浦光的椭圆偏振度，并保持椭圆偏振光的主轴不变，实现对窄带DUV/VUV相干辐射的偏振控制。
3.根据权利要求1所述的多波长真空紫外及深紫外相干光源的产生装置，其特征在于，所述延时线(9)由两块高反镜(10，11)和电动位移台组成，用于调节紫外...
【专利技术属性】
技术研发人员：程亚，姚金平，万悦芯，刘招祥，许波，陈锦明，张方波，张志豪，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31
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