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一种微型石墨烯环形谐振腔光学移相器制造技术
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下载一种微型石墨烯环形谐振腔光学移相器的技术资料
文档序号:26341603
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本发明公开了一种微型石墨烯环形谐振腔光学移相器,该光学移相器包括:环形谐振腔、直波导、第一电极以及第二电极;其中,直波导位于环形谐振腔的下方,环形谐振腔和直波导组成谐振腔;第一电极和第二电极嵌套于环形谐振腔的正上方;第一电极和第二电极中间的...
该专利属于北京科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京科技大学授权不得商用。
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