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一种带内包围式微加热器的微环移相器制造技术
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文档序号:26341602
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本发明公开了一种带内包围式微加热器的微环移相器,该带内包围式微加热器的微环移相器包括:第一微环谐振腔、第二微环谐振腔、直波导、第一加热环、第二加热环、第一连接板、阳极电极、第二连接板以及阴极电极;其中,第一微环谐振腔与第二微环谐振腔平行设置...
该专利属于北京科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京科技大学授权不得商用。
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