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本发明公开了一种基于微机电系统的晶圆测试微细探针，包括探针主体，所述探针主体呈近似“L”型结构，所述探针主体包括第一端部、第二端部，以及位于第一端部、第二端部之间、用于连接第一端部、第二端部的连接部，所述连接部上设有平行于所述连接部的凹槽，...
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