下载惯性传感器、电子设备、移动体及惯性传感器的制造方法的技术资料

文档序号:26341143

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本申请公开了惯性传感器、电子设备、移动体以及惯性传感器的制造方法。惯性传感器具有:支撑基板;传感器主体,被所述支撑基板支撑;以及接合部件,位于所述支撑基板与所述传感器主体之间,将所述支撑基板与所述传感器主体接合,所述传感器主体具有:基板,通...
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