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本申请涉及包括考虑样本内光学路径长度变化的光学检查系统和方法。照明器/收集器组件可将入射光递送到样本并且收集从样本返回的返回光。传感器可根据所收集的返回光的光线位置和光线角度来测量光线强度。光线选择器可从传感器处的所收集的返回光选择满足第一...
该专利属于苹果公司所有，仅供学习研究参考，未经过苹果公司授权不得商用。

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