【技术实现步骤摘要】
包括考虑样本内光学路径长度变化的光学检查系统和方法本申请是申请日为2015年12月22日、申请号为201580065101.X、名称为“包括考虑样本内的光学路径长度的变化的光学检查系统和方法”的专利技术专利申请的分案申请。相关申请的交叉引用本申请要求标题为“OPTICALINSPECTIONSYSTEMANDMETHODINCLUDINGACCOUNTINGFORVARIATIONSOFOPTICALPATHLENGTHWITHINASAMPLE”并且提交于2014年12月23日的美国临时专利申请62/096,276的权益，该美国临时专利申请据此全文以引用方式并入本文。
本公开涉及一种用于对样本进行光学表征的光学检查系统，其能够考虑到样本内的光学路径长度的变化。
技术介绍
许多光学检查系统将光递送到样本，收集从样本反射或散射的光，并且使用所收集的光来分析样本的一部分。可能期望改善这些光学检查系统。
技术实现思路
照明器/收集器组件可将入射光递送到样本并且收集从样本返回的返回光。传感...
【技术保护点】
1.一种用于对样本进行光学表征的光学检查系统，所述光学检查系统包括：/n一个或多个照明源，所述一个或多个照明源被配置为将入射光递送到取样界面；/n收集器，所述收集器被配置为收集从所述样本返回的光，以形成所收集的返回光；/n传感器，所述传感器测量所收集的返回光，其中所述传感器生成指示所测量的所收集的返回光的光线强度、光线位置和光线角度的多个信号，其中所述光线位置是所收集的返回光在所述传感器处的位置，并且所述光线角度是所收集的返回光在所述传感器处的角度；以及/n计算机，所述计算机包括表征器，所述表征器被配置为：/n向所述多个信号指派权重；以及/n基于加权的信号中的至少一些来确定...
【技术特征摘要】
20141223 US 62/096,2761.一种用于对样本进行光学表征的光学检查系统，所述光学检查系统包括：
一个或多个照明源，所述一个或多个照明源被配置为将入射光递送到取样界面；
收集器，所述收集器被配置为收集从所述样本返回的光，以形成所收集的返回光；
传感器，所述传感器测量所收集的返回光，其中所述传感器生成指示所测量的所收集的返回光的光线强度、光线位置和光线角度的多个信号，其中所述光线位置是所收集的返回光在所述传感器处的位置，并且所述光线角度是所收集的返回光在所述传感器处的角度；以及
计算机，所述计算机包括表征器，所述表征器被配置为：
向所述多个信号指派权重；以及
基于加权的信号中的至少一些来确定所述样本的物理属性。
2.根据权利要求1所述的光学检查系统，还包括遮罩，所述遮罩包括：
用于阻断所收集的返回光中的一个或多个光线的阻断部分，以及
用于允许所收集的返回光的一个或多个光线通过的透射部分。
3.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中所述传感器包括多个区域，其中向所述多个信号指派不同的权重包括向与所述传感器的不同区域对应的信号指派不同的权重。
4.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中所述计算机还被配置为：
在确定物理属性时包括所述多个信号中的第一信号，其中第一信号与一个或多个第一权重相关联，以及
在确定物理属性时排除所述多个信号中的第二信号，其中第二信号与一个或多个第二权重相关联，所述一个或多个第二权重小于所述一个或多个第一权重。
5.根据权利要求4所述的光学检查系统，其中所述第一信号与一个或多个第一光学路径长度相关联，并且所述第二信号与不同于所述第一光学路径长度的一个或多个第二光学路径长度相关联。
6.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中：
所指派的权重与所收集的返回光的光学路径长度的分布的宽度成反比变化；以及
所指派的权重随所收集的返回光的光学路径长度的分布的宽度的增加而减小。
7.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中所述传感器包括多个检测器像素，并且所述计算机还包括查找表，所述查找表具有将所述多个检测器像素映射到一个或多个光学路径长度的条目。
8.一种用于对样本进行光学表征的方法，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：M·A·特雷尔，M·A·阿伯雷，
申请(专利权)人：苹果公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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