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本发明的一种半导体冷热台主要由底壳（100）和上盖（200）组成，底壳（100）和上盖（200）组成密闭腔室，腔室可为被测样品提供所需的环境；底壳（100）内部有帕尔贴加热/冷却块（120）、XY微分移动滑块（130）以及样品载玻片夹持器（...该专利属于重庆渝微电子技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆渝微电子技术研究院有限公司授权不得商用。
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本发明的一种半导体冷热台主要由底壳（100）和上盖（200）组成，底壳（100）和上盖（200）组成密闭腔室，腔室可为被测样品提供所需的环境；底壳（100）内部有帕尔贴加热/冷却块（120）、XY微分移动滑块（130）以及样品载玻片夹持器（...