下载探针阵列及其制造方法的技术资料

文档序号:2634004

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一种制造复数个探针的方法,所述方法包括:    提供一材料块;    使用一电子放电机(EDM)从所述材料块移除材料以形成所述复数个探针。...
该专利属于佛姆费克托公司所有,仅供学习研究参考,未经过佛姆费克托公司授权不得商用。

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