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本发明提供光学器件及其制造方法。光学器件依次包括由金属氧化物形成的表面，与由金属氧化物形成的表面接触的含有氧化钐的层，和与含有氧化钐的层接触的含有氟化镁的层，从而抑制在由金属氧化物形成的表面上高速率溅射沉积含有氟化镁的层产生的光吸收。...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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