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检测集成电路的方法和装置制造方法及图纸
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文档序号:2633712
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本发明描述一种用于半导体测试系统的分布式操作系统,如自动化测试设备(ATE)。该操作系统包括一用于藉由一系统控制器实现对一个或多个现场控制器进行控制的主操作系统。一个或多个本地操作系统,每个都与一现场控制器相关联,藉由一相关联的现场控制器实...
该专利属于爱德万测试株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过爱德万测试株式会社授权不得商用。
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