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文档序号:2633614
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探针阵列的图像搜寻的校准特征。然后利用校准特征让接触目标和探针相互接触。校准特征可以是探针的一个或多个尖端的特征。例如,这种特征可以是一个尖端的转角(462b)。可以形成具有这样校准特征的探针阵列。...
该专利属于佛姆法克特股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过佛姆法克特股份有限公司授权不得商用。
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