下载阵列基板检测装置和检测方法的技术资料

文档序号:2633501

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本发明公开了一种阵列基板检测装置和检测方法。该阵列基板检测装置包括一光源、一可控制光通过与否的光电元件、一位于该光电元件一侧的光侦测器和一与该光侦测器连接的计算器系统,待测阵列基板设置在光电元件与光源之间。采用该阵列基板检测装置和检测方法首...
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