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本申请实施例提供了晶圆清洗设备中的工艺调度方法、装置，该方法包括：生成可行移动集合；基于可行移动集合，生成多个移动分支，构成第一分支集合；依次访问经过排序的第一分支集合中的每一个分支，查找满足预设的可执行条件的移动分支；在查找到满足可执行条...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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