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一种半导体测试装置包括测试装置主体、测试头、电缆及可动支持部。其中，测试装置主体是产生测试图案（信号）给与半导体元件。测试头，是与半导体元件接触，将测试主体所产生的测试图案（信号）给与半导体元件。电缆是从测试装置主体向测试头传送测试图案。可...
该专利属于爱德万测试株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过爱德万测试株式会社授权不得商用。

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