下载栅极结构的技术资料

文档序号:26329501

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本实用新型公开了一种栅极结构,包含一有源区、一第一介电层位于所述有源区上且位于栅极图案两侧的边缘部位、一第二介电层位于所述栅极图案中间的所述有源区上以及所述栅极图案两侧的边缘部位的所述第一介电层上,其中所述第二介电层位于所述第一介电层上的部...
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