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本实用新型公开了一种硅片分片装置,包括吹气组件和固定吹气组件的支架组件，所述吹气组件包括有连通管，所述连通管用于对吹气组件供气，所述支架组件支撑吹气组件，所述吹气组件用于硅片分片,本实用新型采用L型的风刀连接板来固定吹气组件，在风刀连接板上...
该专利属于无锡小强半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡小强半导体科技有限公司授权不得商用。

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