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公开了用于校准计量工具的方法和装置。此装置包括其上形成至少一个校准部位的衬底。校准部位包括单元图案，这些单元具有布置在衬底表面中的至少一个特征。此特征供阶跃高度计量工具和相位计量工具进行测量，以便校准所述阶跃高度和相位计量工具。...
该专利属于凸版光掩膜公司所有，仅供学习研究参考，未经过凸版光掩膜公司授权不得商用。

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