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本实用新型实施例公开了一种气流分布装置及薄膜沉积设备，该气流分布装置包括：气体分散腔体；气体分散腔体具有进气口以及与进气口相对设置的孔径结构和/或分散体结构，孔径结构为气体分散盘且气体分散盘具有多个第一通孔；气体分散腔体用于通过孔径结构中第...
该专利属于江苏集萃有机光电技术研究所有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏集萃有机光电技术研究所有限公司授权不得商用。

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