下载一种用于提供探头对准的方法的技术资料

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一种用于提供探头相对于支撑衬底对准的方法,包括的步骤为:提供限定平面表面和边缘的所述支撑衬底,所述衬底进一步限定第一晶体平面;在所述支撑衬底所述表面上提供第一掩模,所述第一掩模在所述边缘所述表面上限定第一外露区域;以及提供特定的刻蚀剂、通过...
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