下载一种自动寻参读码设备的技术资料

文档序号:26320132

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本实用新型提供一种自动寻参读码设备,包括晶圆装卸装置,用于放置晶圆传递盒和晶圆盒;机器人装置,用于晶圆的抓取和传递;寻参读码装置,用于读取晶圆的相关信息及寻参考边;晶圆装卸装置与寻参读码装置通过机器人装置连通,将晶圆装卸装置上的晶圆传递盒中...
该专利属于天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司授权不得商用。

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