一种自动寻参读码设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种自动寻参读码设备，包括晶圆装卸装置，用于放置晶圆传递盒和晶圆盒；机器人装置，用于晶圆的抓取和传递；寻参读码装置，用于读取晶圆的相关信息及寻参考边；晶圆装卸装置与寻参读码装置通过机器人装置连通，将晶圆装卸装置上的晶圆传递盒中的晶圆取出，并放置于寻参读码装置上，经寻参读码后，将晶圆放置于晶圆盒上，进行倒篮搬运。本实用新型专利技术的有益效果是能够实现自动并准确寻找参考边、读取打标号与搬运倒篮，有效地避免了人为读错、增加颗粒度的风险，提高读码效率，减少劳动强度，降低人工成本。

【技术实现步骤摘要】
一种自动寻参读码设备
本技术属于硅片生产设备
，尤其是涉及一种自动寻参读码设备。
技术介绍
在硅片生产过程中，需要进行搬运，在硅片搬运中,人为搬运和手持读取，很容易产生颗粒和错误数据，工作效率低，劳动强度大。
技术实现思路
鉴于上述问题，本技术要解决的问题是提供一种自动寻参读码设备，通过自动化设备，可以快速的搬运，并且保证洁净度、提高信息读取正确率，提高自动化程度。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种自动寻参读码设备，其特征在于：包括，晶圆装卸装置，用于放置晶圆传递盒和晶圆盒；机器人装置，用于晶圆的抓取和传递；寻参读码装置，用于读取晶圆的相关信息及寻参考边；晶圆装卸装置与寻参读码装置通过机器人装置连通，将晶圆装卸装置上的晶圆传递盒中的晶圆取出，并放置于寻参读码装置上，经寻参读码后，将晶圆放置于晶圆盒上，进行倒篮搬运。具体的，晶圆装卸装置包括定位机构、开盖机构和装卸控制装置，定位机构与开盖机构均与装卸控制装置电连接，装卸控制装置根据定位机构的信息控制开盖机构动作。具体的，机器人装置包括晶圆扫描装置和吸取搬运装置，晶圆扫描装置设于吸取搬运装置上，其中，晶圆扫描装置用于检测晶圆传递盒和晶圆盒中晶圆的位置和数量；吸取搬运装置用于对晶圆的吸取、搬运。进一步的，吸取搬运装置包括机器人本体、吸取装置、第一连接臂、第二连接臂和第三连接臂，其中，第一连接臂的一端与机器人本体连接，第一连接臂的另一端与第二连接臂连接，第一连接臂可相对于机器人本体转动和升降，同时，第二连接臂可相对于第一连接臂转动；第二连接臂的另一端与第三连接臂连接，第三连接臂可相对于第二连接臂转动；吸取装置与第三连接臂连接，吸取装置可相对于第三连接臂转动。进一步的，吸取装置为真空吸盘。进一步的，晶圆扫描装置为扫描传感器。具体的，寻参读码装置包括寻参转动装置、参考边检测装置、晶圆信息读取装置和承载装置，其中，承载装置与寻参转动装置连接，用于对晶圆的承载；参考边检测装置与寻参转动装置连接，且参考边检测装置与承载装置相对应设置，用于对晶圆寻参考边；晶圆信息读取装置设于承载装置的两侧，用于读取晶圆信息。进一步的，参考边检测装置为线性传感器。进一步的，晶圆信息读取装置为读码器。进一步的，自动寻参读码设备还包括控制装置，控制装置分别与晶圆装卸装置、寻参读码装置和机器人装置电连接，控制晶圆装卸装置、寻参读码装置与机器人装置动作。由于采用上述技术方案，使得自动寻参读码设备结构紧凑，安装、拆卸方便，具有晶圆装卸装置、机器人装置和寻参读码装置，能够实现自动并准确寻找参考边、读取打标号与搬运倒篮，有效地避免了人为读错、增加颗粒度的风险，提高读码效率，减少劳动强度，降低人工成本，自动化程度高，能够准确、快速、高效的进行晶体搬运与寻边读码。附图说明图1是本技术的一实施例的一个方向结构示意图；图2是本技术的一实施例的另一个方向结构示意图；图3是本技术的一实施例的晶圆装卸装置的俯视结构示意图；图4是本技术的一实施例的晶圆装卸装置的结构示意图；图5是本技术的一实施例的寻参读码装置结构示意图；图6是本技术的一实施例的机器人装置结构示意图。图中：1、框架2、晶圆装卸装置3、寻参读码装置4、机器人装置20、开盖机构21、定位机构201、开盖件202、插接件210、定位件211、承载件300、晶圆信息读取装置301、参考边检测装置302、承载装置303、寻参转动装置400、机器人本体401、第一连接臂402、第二连接臂403、第三连接臂404、吸取装置具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本技术做进一步的说明。图1示出了本技术一实施例的结构示意图，具体示出了本实施例的结构，本实施例涉及一种自动寻参读码设备，用于晶圆寻找参考边、读取打标信息和倒篮搬运，并进行晶圆信息的存储和管理，避免人工寻边造成颗粒增加，且读码效率高，自动化程度高，减少人工参与，提高工作效率。一种自动寻参读码设备，如图1和2所示，包括晶圆装卸装置2，用于放置晶圆传递盒和晶圆盒，晶圆传递盒用于放置未寻参读码的晶圆，晶圆盒用于放置已经寻参读码的晶圆，便于晶圆在倒篮搬运中进行存储放置；机器人装置4，用于晶圆的抓取和传递，用于抓取未寻参读码的晶圆，并将该晶圆放置于寻参读码装置3上，进行寻参读码，寻参读码完成后，将该晶圆取下，并放置于晶圆盒内，减少该晶圆搬运过程中人工的参与，避免颗粒的增加；寻参读码装置3，用于读取晶圆的生产过程中的相关信息及寻参考边，寻找晶圆的参考边，并读取晶圆双面的ID信息；该自动寻参读码设备在使用时，晶圆装卸装置2与寻参读码装置3通过机器人装置4连通，将晶圆装卸装置2上的晶圆传递盒中的晶圆取出，并放置于寻参读码装置3上，经寻参读码后，将晶圆放置于晶圆盒上，进行倒篮搬运，避免人工的参与，避免颗粒的增加，自动可控，工作效率高。该自动寻参读码设备还包括控制装置，控制装置分别与晶圆装卸装置2、寻参读码装置3和机器人装置4电连接，控制晶圆装卸装置2、寻参读码装置3与机器人装置4动作。在该控制装置内设有编辑好的程序，使得晶圆装卸装置2、机器人装置4和寻参读码装置3按照程序动作，对晶圆进行倒篮搬运，并进行寻找参考边和读取晶圆的双面ID信息。该自动寻参读码设备还包括上位系统和显示装置，上位系统与控制装置通讯连接，上位系统与显示装置电连接，控制装置将信息传递给上位系统，并在显示装置上进行显示，对晶圆的信息进行存储。该控制装置可以是PLC控制器，或者是其他控制装置，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求，通过RS232与上位系统通讯。上位系统可以是计算机，或者是其他上位系统，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。显示装置可以是显示器，或者是其他显示装置，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。该自动寻参读码设备还包括框架1，框架1的设置，便于晶圆装卸装置2、机器人装置4和寻参读码装置3的安装，该框架1由铝型材拼接而成，并且在铝型材的外面固定安装有不锈钢板，使得框架1整体结构稳定，同时在框架1的底部，转动安装有万向轮，便于该自动寻参读码设备移动。如图3和4所示，上述的晶圆装卸装置2包括定位机构21、开盖机构20和装卸控制装置，定位机构21与开盖机构20均与装卸控制装置电连接，装卸控制装置根据定位机构21的检测信息控制开盖机构20动作。盛装有未寻参读码的晶圆的晶圆传递盒放置于定位机构21上，对该晶圆传递盒进行定位，定位后，开盖机构20对晶圆传递盒进行开盖，便于后续机器人装置4动作，进行晶圆的拿取。该定位机构21包括承载件211和定位件210，承载件211固定安装在支撑架上，该承载件211为板状结构，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动寻参读码设备，其特征在于：包括，/n晶圆装卸装置，用于放置晶圆传递盒和晶圆盒；/n机器人装置，用于晶圆的抓取和传递；/n寻参读码装置，用于读取晶圆的相关信息及寻参考边；/n所述晶圆装卸装置与所述寻参读码装置通过所述机器人装置连通，将所述晶圆装卸装置上的晶圆传递盒中的晶圆取出，并放置于所述寻参读码装置上，经寻参读码后，将所述晶圆放置于所述晶圆盒上，进行倒篮搬运。/n

【技术特征摘要】
1.一种自动寻参读码设备，其特征在于：包括，
晶圆装卸装置，用于放置晶圆传递盒和晶圆盒；
机器人装置，用于晶圆的抓取和传递；
寻参读码装置，用于读取晶圆的相关信息及寻参考边；
所述晶圆装卸装置与所述寻参读码装置通过所述机器人装置连通，将所述晶圆装卸装置上的晶圆传递盒中的晶圆取出，并放置于所述寻参读码装置上，经寻参读码后，将所述晶圆放置于所述晶圆盒上，进行倒篮搬运。


2.根据权利要求1所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述晶圆装卸装置包括定位机构、开盖机构和装卸控制装置，所述定位机构与所述开盖机构均与所述装卸控制装置电连接，所述装卸控制装置根据所述定位机构的信息控制所述开盖机构动作。


3.根据权利要求1或2所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述机器人装置包括晶圆扫描装置和吸取搬运装置，所述晶圆扫描装置设于所述吸取搬运装置上，其中，
所述晶圆扫描装置用于检测晶圆传递盒和晶圆盒中晶圆的位置和数量；
所述吸取搬运装置用于对晶圆的吸取、搬运。


4.根据权利要求3所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述吸取搬运装置包括机器人本体、吸取装置、第一连接臂、第二连接臂和第三连接臂，其中，
所述第一连接臂的一端与所述机器人本体连接，所述第一连接臂的另一端与所述第二连接臂连接，所述第一连接臂可相对于所述机器人本体转动和升降，同时，所述第二连接臂可相对于所述第一连接臂转动；
所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：李伦，张淳，孙晨光，王聚安，王彦君，
申请(专利权)人：天津中环领先材料技术有限公司，中环领先半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12