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探测器附着工具制造技术
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文档序号:2631680
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本发明公开了一种用于将预先形成的细探测器附着于基板以便与真空源一起使用的工具。该设备包括:主体部分;尖部,设置在主体部分的一端处;第一孔,从主体部分的第一端延伸到工作尖端;以及至少一个第二孔,从工作尖端的外侧部分延伸,并与第一孔相连通,其中...
该专利属于SV探针私人有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过SV探针私人有限公司授权不得商用。
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