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本实用新型公开了多晶硅清洗机。该多晶硅清洗机包括:本体和惰性气体喷吹装置,本体内设有机械手和顺序布置的酸腐蚀槽、第一快速冲洗槽、第二快速冲洗槽和纯水过渡槽;惰性气体喷吹装置包括输气管道和多个风刀喷口,输气管道伸入本体内并延伸至酸腐蚀槽和第一...该专利属于洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。