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提供了一种用于探测将由测试设备测试的半导体晶片上的器件的探针装置。该探针装置包括可拆卸地安装到底板的探测位置中的可置换探针片。探针片被构造成自包含的组件，它包括含有用于探测晶片上的器件的多个探针的底架体、用于支撑探针的介电块以及用于将多个电...
该专利属于塞莱敦体系股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过塞莱敦体系股份有限公司授权不得商用。

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