下载用于高频测量的探针头的技术资料

文档序号:2631043

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种尤其用于测量探针或测量头的接触装置,用于尤 其在半导体晶片上的高频测量,具有用于与平面结构电接触的接触端 (12),其中在接触端(12)处设置具有至少两个由电介质(10)支 承的导体(14)的共面导体结构,在电介质(10)和接...
该专利属于罗森伯格高频技术有限及两合公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗森伯格高频技术有限及两合公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。