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集成在半导体芯片上、用于互连电容(Cx)测量的电路制造技术
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下载集成在半导体芯片上、用于互连电容(Cx)测量的电路的技术资料
文档序号:2630926
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本发明涉及一种用于硅上互连电容(C↓[x])提取的芯片上电路,所述电路对集成的晶体管中的工艺变化进行自补偿。所述电路(10)包括:信号发生装置(20),用于产生连接到第一信号延迟装置(31)和第二信号延迟装置(32)的周期性脉冲信号,所述第...
该专利属于NXP股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过NXP股份有限公司授权不得商用。
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