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本发明的课题在于提供一种在进行曝光的温度范围内容易塑性变形，在掩模剥离后基本不存在残胶，操作性良好且不易使防护膜的雾度上升的掩模粘接剂。解决所述课题的掩模粘接剂包含：在频率1Hz的条件下测定的损耗角正切显示最大值的温度为‑20℃～30℃的热...
该专利属于三井化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三井化学株式会社授权不得商用。

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