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一种非接触型单面探针结构，在该结构中重复堆叠了多重绝缘薄膜和多重导电薄膜，该结构包括形成于该结构横截面的内导电薄膜部分上的探针电极，以及形成于环绕该探针电极的外导电薄膜部分的防护部分。因此，该结构能够形成具有导电薄膜厚度的探针电极，所述导电...
该专利属于微探测株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过微探测株式会社授权不得商用。

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