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具有微腔结构的分布式反馈激光器及制备方法技术
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文档序号:26307042
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本发明实施例提供一种具有微腔结构的分布式反馈激光器及制备方法,分布式反馈激光器包括P电极、P掺杂层、量子阱有源层、N掺杂层和N电极;P电极两侧分别设置有一个空气微孔波导阵列,空气微孔波导阵列由按照第一预设排布结构排布的多个第一空气微孔形成,...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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