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本发明涉及一种为以测试或测量电气元件（２－１）之方法，其包含如下步骤：将第一粒子束（４－１）施加于电气元件之第一位置（３－１），以自该第一位置处释放电子；将第二粒子束（４－２）施加于电气元件之第二位置（３－２），而相关于施加该第一粒子束（４...
该专利属于法商柏奈德公司所有，仅供学习研究参考，未经过法商柏奈德公司授权不得商用。

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