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利用间接光电效应来测试电气元件的方法技术
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文档序号:2630662
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本发明是关于一种通过至少一个电子放电电极(22)、至少一个电子收集电极(22)、以及至少一个粒子射束(BI)的来源来测试或测量电气元件(10、11、13)的方法,其中包含:通过该粒子射束弹射出该放电电极(22)中的电子,并且将该放电电极所供...
该专利属于法商柏奈德公司所有,仅供学习研究参考,未经过法商柏奈德公司授权不得商用。
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